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北京科仪重大装备核心零部件产业化团队获评中国科学院第六届“科苑名匠”称号

来源:北京科仪|2025-04-30|        【打印】【关闭】

4月27日,中国科学院工会委员会在京举办庆祝“五一”国际劳动节暨中国科学院第六届科苑名匠发布活动。活动上公布了获得中国科学院第六届“科苑名匠”称号的名单。北京中科科仪股份有限公司重大装备核心零部件产业化团队获此殊荣。

北京科仪重大装备核心零部件产业化团队,深耕真空技术领域持续创新突破,聚力攻关重大装备核心零部件高效产业化,形成的分子泵系列产品在集成电路、光伏新能源、航空航天、科学分析仪器等行业广泛应用,为推动国家产业升级、提升国家科技实力水平做出重要贡献。团队逐步建立流程制度标准化、设备配套高效化、制造团队专业化的生产体系,致力于研制满足国家重大战略需求、具有市场竞争力的关键产品,解决国家关键核心技术“卡脖子”问题。

该团队实现了磁悬浮分子泵在光伏、锂电等新能源行业大批量应用,推进半导体专用磁悬浮分子泵系列产品产业化落地,快速满足第三代半导体碳化硅行业设备对专用分子泵的需求,并实现在刻蚀、离子注入、薄膜沉积等半导体前道工艺关键装备上的应用,为半导体产业设备核心部件国产化发展作出贡献。

历经六十余年的传承与积累,北京科仪重大装备核心零部件产业化团队深刻领悟老一辈科学家胸怀祖国、无私奉献的精神,坚持精益求精、追求卓越的工匠精神,专注科技成果转化,守初心,担使命,为高端装备精密智造注入新动能。